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Atomic layer deposition

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  • 原子层沉积

双语例句

    1. An apparatus and process for atomic layer deposition that minimizes mixing of the chemicals and reactive gases is disclosed.
      在本发明中提供了一种用于原子层沉积的装置和方法，该装置和方法能减小化学用品和反应气体的混合。

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